Banner

News

استخدام المستهدفة في عملية الطلاء الفراغ

Nov 10, 2016


نوع جديد من اﻷخرق معدات استخدام تقريبا جميع سوف دوامة مغناطيسات قوية في الحركة لتسريع التأين إلكترون من الأرجون حول الهدف، تزيد من احتمالات تأثير الهدف مع أيونات الأرجون،

زيادة معدل اﻷخرق. وتودع معظم طلاء المعادن بالعاصمة اﻷخرق، بينما يتم استخدام مواد السيراميك غير موصلة للتيار المتردد RF اﻷخرق. والمبدأ الأساسي استخدام الاضطلاع بتوهج في فراغ.


(توهج التفريغ) (ع) الأرجون أيون قصف الهدف (المستهدف) الموجبة الكهربائية السطحية البلازما ستسرع نحو السطح بالاخرق كمادة القطب السلبي، وسيكون التأثير

توجه المواد المستهدفة وأودعت في الركيزة تشكل طبقة رقيقة.


وبصفة عامة، وهناك العديد من الخصائص للطلاء رقيقة بعملية اﻷخرق:


(1) معدنية، سبيكة أو المواد العازلة يمكن إجراء إلى مواد رقيقة.

(2) الشروط المناسبة يمكنك استهداف مجمع لإنتاج الأغشية الرقيقة بنفس التكوين.

(3) عن طريق إضافة الأكسجين النشط أو غيرها تصريف غاز في الغلاف الجوي، أو خليط من المركبات يمكن أن تجعل جزيئات المواد والغاز المستهدف.

(4) يمكن أن يكون الهدف الوقت الحالي والأخرق الإدخال التي تسيطر عليها، ومن السهل الحصول على سمك الفيلم بدقة عالية.

(5) بالمقارنة مع غيرها من عمليات التصنيع، إنتاج الأفلام موحدة مع مساحة كبيرة أكثر ملاءمة.

(6) عدد قليل من الجسيمات محببة لا تتأثر بالجاذبية، والهدف والموقف الركازة يمكن ترتيب بحرية.

(7) قوة الالتصاق بين الركيزة والفيلم أعلى 10 مرات من الطلاء ترسب بخار عامة، ونظرا للطاقة العالية للجسيمات محببة وسطح الفيلم ستظل صعبة وكثيفة.

رقيقة السينما، وفي نفس الوقت، الطاقة العالية يمكن الحصول عليها طالما أنه يمكن الحصول على درجة حرارة أقل من الركازة.

(8) رقيقة تشكل كثافة التنو الأولى إنتاج الأفلام مستمرة عالية، ولكن رقيقة جداً من 10nm التالية.

(9) الهدف من حياة طويلة، منذ وقت طويل أتمتة الإنتاج المستمر.

(10) ويمكن إجراء المواد هدف في مختلف الأشكال، مع آلة خاصة مصممة التحكم بشكل أفضل وأكثر كفاءة.